Hitachi phát triển công nghệ phát hiện lỗi bán dẫn bằng máy học, có thể nhận diện vi lỗi 10nm và nhỏ hơn
Ngày 27/2, Hitachi tuyên bố đã phát triển một công nghệ phát hiện lỗi bán dẫn có độ nhạy cao, giúp nhận diện các vi lỗi có kích thước 10nm hoặc nhỏ hơn nhờ sự hỗ trợ của máy học. Công nghệ này đã được giới thiệu tại hội nghị học thuật SPIE Advanced Lithography & Patterning 2025 vào cuối tháng 2.
Nhu cầu về chip hiệu suất cao ngày càng tăng, khiến các nhà sản xuất bán dẫn phải nâng cao kiểm soát chất lượng trong quá trình sản xuất. Bên cạnh đó, việc thu nhỏ tiến trình sản xuất khiến kích thước lỗi có thể ảnh hưởng đến hiệu suất chip ngày càng nhỏ, đòi hỏi hệ thống phát hiện lỗi phải có độ nhạy cao hơn. Công nghệ mới của Hitachi ra đời để đáp ứng nhu cầu này.
Công nghệ phát hiện lỗi bằng máy học của Hitachi
Hệ thống này dựa trên hai cơ chế chính:
1. So sánh và tái tạo hình ảnh
• Hệ thống học dữ liệu lỗi dựa trên một lượng lớn hình ảnh “giả lập” có nhiễu được bổ sung nhân tạo.
• Khi sử dụng thực tế, hệ thống sẽ tái tạo một phiên bản không có lỗi từ hình ảnh kính hiển vi điện tử quét (SEM).
• Sau đó, so sánh ảnh gốc với ảnh tái tạo để phát hiện lỗi.
2. Giảm tình trạng phát hiện lỗi quá mức
• Khi tiến trình bán dẫn thu nhỏ, sự khác biệt giữa các vi mạch chức năng và lỗi trên ảnh quang học ngày càng mờ nhạt.
• Hệ thống máy học sẽ phân loại bố cục mạch và điều chỉnh độ nhạy theo đặc điểm từng loại mạch.
• Nhờ đó, giúp giảm 90% tình trạng phát hiện lỗi quá mức.
Công nghệ này hứa hẹn giúp cải thiện chất lượng sản xuất bán dẫn, giảm tỷ lệ sai sót, đồng thời nâng cao hiệu suất kiểm tra lỗi trong ngành công nghiệp vi mạch tiên tiến.
Công nghệ phát hiện lỗi bằng máy học của Hitachi
Hệ thống này dựa trên hai cơ chế chính:
1. So sánh và tái tạo hình ảnh
• Hệ thống học dữ liệu lỗi dựa trên một lượng lớn hình ảnh “giả lập” có nhiễu được bổ sung nhân tạo.
• Khi sử dụng thực tế, hệ thống sẽ tái tạo một phiên bản không có lỗi từ hình ảnh kính hiển vi điện tử quét (SEM).
• Sau đó, so sánh ảnh gốc với ảnh tái tạo để phát hiện lỗi.
2. Giảm tình trạng phát hiện lỗi quá mức
• Khi tiến trình bán dẫn thu nhỏ, sự khác biệt giữa các vi mạch chức năng và lỗi trên ảnh quang học ngày càng mờ nhạt.
• Hệ thống máy học sẽ phân loại bố cục mạch và điều chỉnh độ nhạy theo đặc điểm từng loại mạch.
• Nhờ đó, giúp giảm 90% tình trạng phát hiện lỗi quá mức.
Công nghệ này hứa hẹn giúp cải thiện chất lượng sản xuất bán dẫn, giảm tỷ lệ sai sót, đồng thời nâng cao hiệu suất kiểm tra lỗi trong ngành công nghiệp vi mạch tiên tiến.