Vn-Z.vn Ngày 05 tháng 03 năm 2024, Intel đã tung ra video mở hộp đặc biệt, đắt nhất lịch sử: chiếc máy in thạch bản EUV có NA cao đầu tiên trên thế giới mà họ mới nhận được từ ASML. Intel đang lắp đặt chiếc máy in này tại nhà máy gần Hillsborough, Oregon, Mỹ.

Mẫu máy in thạch bản Twinscan EXE:5000 này thực sự là một cỗ máy khổng lồ, nhà sản xuất phải sử dụng 250 thùng hàng trong quá trình vận chuyển, với tổng trọng lượng khoảng 150 tấn. Lô hàng ban đầu được vận chuyển bằng máy bay từ Hà Lan đến Portland, Oregon, sau đó được phân chia thành các phần trên xe tải, kéo về nhà máy.

Hiện tại, mới chỉ có các thành phần cốt lõi được cài đặt, hơn 250 kỹ sư của ASML và Intel được yêu cầu hoàn thành chúng, mất khoảng 6 tháng , sau đó họ còn phải dành thêm một khoảng thời gian gỡ lỗi.
Máy in thạch bản này chủ yếu được sử dụng cho nghiên cứu và sẽ thử nghiệm trên nút Intel 18A, tuy nhiên việc sản xuất hàng loạt với quy mô lớn sẽ phải đợi đến nút Intel 14A vừa được công bố, dự kiến vào khoảng năm 2025-2026.

Máy in thạch bản này có thể đạt được quy trình 8nm, trong khi các máy in thạch bản có hàm lượng NA thấp hiện tại chỉ có thể đạt được 13nm trong một lần phơi sáng, trong khi mật độ bóng bán dẫn có thể tăng lên gần gấp ba lần.

Về mức giá mà mọi người rất quan tâm, ASML cho biết là khoảng 380 triệu đô la Mỹ, nhưng đây chỉ là mức giá khởi điểm, cấu hình cao hơn đương nhiên sẽ đắt hơn, CEO Intel Pat Kissinger tiết lộ rằng giá trị của chiêccs máy vào khoảng 400 triệu đô la Mỹ .

Hiện các máy in thạch bản EUV có hàm lượng NA thấp có giá khoảng 183 triệu USD.

Ngoài Intel, Samsung, TSMC, SK Hynix cũng đã đặt mua máy in thạch bản EUV NA cao, đơn hàng đầu tiên của dòng máy in thạch bản EUV NA cao sẽ lên tới hàng chục chiếc.