Theo một số trang công nghệ quốc tế, một phòng thí nghiệm bí mật tại Trung Quốc đã âm thầm lắp ráp thành công nguyên mẫu hệ thống quang khắc EUV (cực tím) đầu tiên, được cho là thực hiện thông qua kỹ thuật đảo ngược (reverse engineering) các sản phẩm quang khắc hiện có của ASML. Hiện thiết bị...