Vn-Z.vn Ngày 07 tháng 01 năm 2025, Phòng Thí nghiệm Lawrence Livermore National Laboratory (LLNL) tại Mỹ đang nghiên cứu một loại laser có hiệu suất cao gấp 10 lần so với các laser CO2 truyền thống dùng trong công nghệ khắc EUV, đặt nền móng cho sự phát triển của thế hệ công nghệ khắc EUV tiếp...